SiC基板の欠陥を無害化する表面制御技術を関西学院大が開発 | エンタメプラス | 話題のエンタメ情報満載！

3/5更新　マイナビニュース

関西学院大学と豊田通商は3月1日、SiC基板に生じる半導体性能を劣化させる欠陥を無害化する表面ナノ制...

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